紫外臭氧清洗機(jī)具有數(shù)字控制系統(tǒng),燈管尺寸自4x4" 至 20x20"不等。PSD的特征在于強(qiáng)大的柵格紫外燈,帶反射罩,樣品臺高度可調(diào),可以很好地進(jìn)行樣品定位,使清洗效果達(dá)到理想狀態(tài)。4x4"或以上尺寸系統(tǒng)出氣口雙氣路設(shè)計(jì)PSD紫外臭氧清洗機(jī)通過一個(gè)操作簡便的預(yù)置控制器進(jìn)行控制,讓工作變的輕而易舉。
紫外臭氧清洗機(jī)原理:通過紫外燈發(fā)出適當(dāng)強(qiáng)度的185nm和254nm波長高能紫外線破壞有物分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(O2)分解成臭氧(O3),而254nm波長的紫外光的光能量能將O3分解成O2和活性氧(O), 254 nm紫外線同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子團(tuán)破壞。在連續(xù)進(jìn)行的光敏氧化反應(yīng)中,生成的活性氧原子與活化了的有機(jī)物(即碳?xì)浠衔?分子發(fā)生氧化反應(yīng),生成揮發(fā)性氣體(如CO2,CO, H2O,NO等)逸出物體表面,從而*清除粘附在物體表面上的有機(jī)污染物,達(dá)到清洗的目的。因?yàn)槌粞蹙哂卸虝旱陌胨テ冢材鼙?54nm紫外線破壞,Novascan紫外臭氧清洗機(jī)中采用了可調(diào)高度樣品臺,可以使樣品正確定位以達(dá)到很好的光線照射效果。PSD和PSDP 系列紫外臭氧清洗機(jī)破壞污染物,然后釋放出CO2和水蒸汽,剩余的臭氧恢復(fù)到分子氧的狀態(tài)。
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